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又白沸腾了?清华EUV光刻机工厂,其实是个假消息
2023/9/16 16:36:59 | 浏览:1830 | 评论:0

前几天,很多自媒体都曝了一个相同的好消息,说是清华的EUV光刻机工厂,将落地了。

与ASML的小型化EUV光刻机不同,这个EUV光刻机,采用的是SSMB-EUV方案,功率是ASML EUV光刻机的40倍。

其原理是采用大的加速器光源,用分光器来带动几十台光刻机,相当于建了一个光刻机工厂,然后同时生产出了几十台光刻机一样,用来满足很多客户同时作业需求,集群化。

又白沸腾了?清华EUV光刻机工厂,其实是个假消息

于是全网沸腾了,因为一直以来,大家都认为EUV光刻机的突破,需要极紫外线光源、物镜系统、工作台等等的突破,非一朝一夕之功。

而一旦国产EUV光刻机有了突破,那么美国就再也卡不住我们的脖子了。

而如今,国产EUV光刻机换道超车,用分光器+SSMB-EUV方案,打破了美国的技术封锁,走出了一条有中国特色的EUV光刻机之路。

又白沸腾了?清华EUV光刻机工厂,其实是个假消息

那么问题来了,这真的是国产EUV光刻机么?实际上还真不是的。

SSMB到底是什么玩意?它的英文全名是:steady-state micro-bunching,是Steady-state micro-bunching accelerator light source的一部分,翻译过来是:稳态微聚束加速器光源。

SSMB概念由斯坦福大学教授、清华大学杰出访问教授赵午与其博士生Daniel Ratner于2010年提出。

清华大华是在2017年,由唐传祥与赵午发起该项实验,并成立SSMB研究团队的,而SSMB也分为三个阶段,分别是加速一圈;加速千圈;以及进入真正的SSMB,保持稳定。

唐传详教授也曾对媒体表示:“SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源”。

又白沸腾了?清华EUV光刻机工厂,其实是个假消息

这就很容量理解了,而就算SSMB稳定后,也只是产生出了稳定的EUV光源,有可能会成为EUV光刻机的光源,而一台EUV光刻机,需要的不仅仅是光源,还需要操纵光源,进行光刻。

而ASML的EUV光刻机中,产生稳定的EUV光源,也只是其中的第一步,还有后面的好多步骤,所以就算有了EUV光源,也仅仅只是实现了第一步而已。

所以就算清华大学,真的有了SSMB-EUV光源,也只是解决了EUV光源问题,还要考虑物镜系统、工作台,这些是缺一不可的。

又白沸腾了?清华EUV光刻机工厂,其实是个假消息

事实上,而按照业内人士人说法,清华大学的SSMB至少在目前并不是用来做EUV光刻机的,是用来研究高能粒子对撞之类研究的,远期目标可能是用其作为EUV光源,且目前还没有达到稳定产生EUV的结果。

当然,我并不是说清华大学的这个SSMB-EUV方案有什么不对,只是说它至少在目前并不是EUV光刻机,就算全面成功了,也只是其中的一个小环节,还有更多的环节,等着我们。

所以,大家先别沸腾,打好基础,扎实前行才硬道理,换道超车,没有这么容易换的

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